PGE300 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼测量仪加强型 300 (PGE300) 像比它较大的 brotherP GE500 一样配备了市场上的数字对流增强型皮拉尼技术。PGE300 配备与 PGE500 相同的传感器组件,以在 100 至 1000 mbar 的测量范围中获得同样高准确度的读数。PGE300 仅提供真空行业的大多数用户追求的关键内置功能,以限度地降低成本和提高效率。这种坚固的仪表和传感器设计结合工厂内置的清晰读数 LED 显示屏、3 种可选模拟输出信号和设**继电器,使得 PGE300 成为所有客户的高/低拥有成本选择,而不于 OEM 客户。这些特点使该仪表适合众多需要低真空度**真空度范围的经济型真空测量功能的应用。由于测量范围较广且准确度较高(尤其是在低压条件下),同时内置价格实惠的功能,因此在替代真空系统中的热电偶仪表时,PGE300 也是的主动真空计。
冷阴极技术
冷阴极技术传统上比热阴极提供较长的寿命,因为没有灯丝烧毁。GP 500系列冷阴极压力计(CCG)基于创新的技术和经过时间考验的校准技术,定义了一个新的精度标准。此外,从来没有一个好方法来确定什么时候冷阴极压力表磨损到精度明显下降的程度。通过一种新的正在申请专利的方法来确定随时间变化的压力量,并将其与用户选择的环境因素相结合, GP500提供了仪表何时需要维修或更换的指示信号。
应用
ASG隔膜真空计是在需要对接近大气压的压力进行与气体无关的精确测量时的出色选择,十分适合于负载锁定这样的应用中。
它可用作独立的传感器,便于 OEM 和系统承建商开发灵活的低成本解决方案,满足其真空设备的需求。另外,它还可以连接到 TIC 仪器控制器,与其他很多类型的传感器结合使用,提供全面的真空仪器解决方案
Edwards新的Passive gauge真空规和控制器,专门补充目前Edwards Active真空计和控制器。这些真空计提供了一种广泛应用的压力测量解决方案,从**高真空系统到加工工业,或者在不可能使用Active真空计(如回旋加速器)的地方。
Edwards Passive系列真空规包括皮拉尼规,潘宁规和两个Bayard-Alpert离子计和Extractor离子测量计,可以测量大气至10-12 mbar**宽的压力范围。它们与被动式真空计计控制器(PGC)一起使用,显示压力,并为用户提供直观的界面,以及远程控制的能力。Edwards将提供2个控制器,PGC201支持测量从10-9至1000 mbar的压力范围,连接皮拉尼和潘宁真空规;以及范围较广的PGC202,测量10-12至1000mbar,连接皮拉尼和离子测量计。
压力测量范围宽,从大气压至10E-4Torr
单独校准规管保证的测量性能
结构紧凑、坚固耐用,抗辐射和噪音符合CE认证
数字接口可用于与计算机控制系统通讯
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境,这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续监控真空状态,并使之持续维持在一个低位,以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体入口处的精确压力以及真空口处的精确压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体入口处和真空口处的精确压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接,以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来,以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行监控。另外,也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上,实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和**高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
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