磁控溅射技术是20世纪70年始应用于实践的,其制备薄膜的原理:在真空室充入压强0.1-l0 Pa的惰性气体(Ar)的同时,在阴极靶材下面放置了100~1000Gauss强力磁铁。
主要应用:薄膜太阳能电池、透明导电玻璃、导电柔性膜、等离子显示器等。
二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响,被束缚在靠近靶面的等离子体区域内,该区域内等离子体密度很高,二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动,该电子的运动路径很长,在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材,经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低,摆脱磁力线的束缚,远离靶材,终沉积在基片上。
是一种导电镀膜材料,AZO 薄膜由于具备材料无毒性、制备温度低、工艺相对简单、易于实现掺杂等特点。
世高 主营靶材— 高性能薄膜新材料,属国家**,于2007年成立溅射靶材公司。在交利的江苏苏州昆山设立了生产和研发基地。世高一直致力于高性能材料的研发和生产,为靶材的国产化作出了重要贡献。 世高新材料的产品广泛应用于半导体显示、半导体芯片、光伏太阳能、低辐射玻璃、光学光通讯、装饰镀工具镀等行业。公司经过多年努力,成功获得行业客户和**的认可,积累了一批优质稳定的行业客户,包括日久光电、 蓝思科技、芜湖长信、信利光电、镀邦光电 、伯恩光学等。