气流→初效空气处理→空气调节→中效空气处理→风机加压送风→净化送风管道→高效送风口→洁净室→带走尘埃() → 回风夹道→新风、初效空气处理。
重复以上过程,即可达到净化目的。
洁净室用鞋要合脚且穿起来舒适为基本条件,容易洗涤,底则采用塑胶底,布质部分则采用与洁净衣相同材质即可,鞋子穿着时洁净衣脚跟部分应完全塞入紧密包着。手套材料除为与洁净衣相同的布料外尚有薄橡胶或乙烯树脂(Vinyl),在使用过程中若有不舒适感或妨害手指脂触感者则停止使用,手套表面有粉质时须去除或停用,原则上以使用无粉之Vinyl手套为佳。
在FED-STD-2里面,洁净室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。
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