Ni-Cr系合金的微观组织和微区成分对热处理工艺较为敏感,在1000~1200℃的范围内,BCC相中Ni元素的原子含量从5%变为30%。提出了适宜的均匀化热处理工艺,以便获得组织和成分比较均匀的高品质Ni-Cr系合金靶材。
镍铬合金电阻薄膜具有高电阻率、低电阻温度系数、较高的灵敏系数且对温度依赖小等特点,一直受人们青睐.由于镍铬合金电阻薄膜制备容易、工艺成熟、性能稳定,因而得到广泛应用,主要用于制备混合集成电路中的精密电阻薄膜.其能满足电阻应变计敏感薄膜的性能要求,因此常用于制备薄膜电阻应变计
镍铬合金薄膜的3种制备方法:真空蒸发沉积、磁控溅射沉积和离子束沉积;讨论了基底、工作气压、沉积时间等薄膜制备工艺参数以及退火工艺对薄膜性能的影响。
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