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功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。
爱德华真空泵油Ultragrade15/19/20/70
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日本爱发科真空泵油R-7/R-4/D-11/SMR100/R-2,法国莱宝真空泵油LVO-100/GS32/GS77/N62/N62H/HE200/FM68,
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