利用氩气的多晶硅铸定炉联机系统及其生产工艺,解决了现有的多晶硅铸锭炉在生产过程中存在生产成本高,污染环境严重和电力消耗大的问题。包括多台多晶硅铸定炉(1)和气站氩气管路(18),多晶硅铸定炉(1)均与共用的联机真空泵(8)连通,联机真空泵(8)通过氩气回收缓冲罐(10)、缓冲阀(11)、氩气净化单元(12)、增压泵(13)与净化氩气储气罐(14)连通,净化氩气储气罐(14)与回用氩气总管路(16)连通,回用氩气支管路(19)与多晶硅铸定炉(1)上设置的质量流量控制器(4)的输入口连通。
单晶硅的氩气回收带纯化系统,单晶硅炉排放的粗氩气汇集后进行压缩除油处理,采用催化氧化法除去一氧化碳与烷烃,采用加氢除氧法除去氧,采用吸附法除去二氧化碳及水分,采用高低压双塔低温精馏法除去氮与氢,终得到纯净压缩氩气可直接送回单晶硅炉重新利用。
氩气回收装置是对、氩气和氦气进行回收再利用,采用该系列装置是一项降低生产成本,节约能源,提高经济效益的有力措施。从改善低碳环境的角度出发,氩气回收也是未来发展中一件很有意义的工作。
苏州华德气体设备有限公司为客户提供以下系列产品: 1、氢气纯化(净化)装置:A、催化剂型;B、变压吸附PSA型;高高压变温吸附型 2、氮气纯化(净化)装置:A、加氢除氧型;B、碳载脱氧无氢无氧型、微热除氧干燥型 3、*纯化(净化)装置、丙烷纯化(净化)装置 4、稀有气体纯化(净化)装置(氦气、氩气、氖气、氘气等) 5、稀有气体回收纯化(净化)装置(氦气、氩气、氖气、氘气等) 6、变压吸附PSA制氧、PSA制氮、PSA制氢 7、纤维膜制氢装置、氨分解制氢装置、PSA提纯氢装置 8、工业高纯度氢气、氮气、氩气、*、丙烷气体提纯装置 9、式油田、煤矿**纤维膜制氮;石油化工用纤维膜制氢装置 10、 空气净化干燥装置、无热再生气体纯化干燥装置、微热再生气体纯化干燥装置 11、 保护气站自动无级调节汇配装置 12、 钎焊炉、窑炉、烧结炉、罩式炉等保护气体装置 13、 气体保护站、规划和设计 14、 电子、领域高纯度、高气体纯化(净化)装置 15、 海水淡化设备、海水淡化装置、船舶用海水淡化 16、 废*净化处理