三、无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则:禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一,是控制带尘的净化设备之一,它可以限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。
伍.每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了**无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求**A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
(3)自净时间(恢复时间)的控制要求:洁净室中事故释放或带入污染物或空气气流的中断或正常操作时的间歇性对流气流或人及设备的移动等都会造成洁净度的恶化,恢复到原来洁净度的自净时间决定于气流速度;
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