杭州钛铝靶钛铌靶价格 多弧钛铝靶材 可加工定制

进入20世纪90年代以来，随着新技术和新材
料，特别是微电子行业的新器件和新材料的飞速发展，溅射靶材的市场规模日益扩大。!1990"年世界靶材市场销售额为336-397亿日元，年增长率达到 20%；!1991!年约为377-443亿日元， 年增长率为10% 。!1995年仅日本的靶材市场就已达到500亿日元［G］ 。据不完全统计，!1999年世界靶材市场的 年销售额近!10亿美元，其中日本的市场份额**过世界市场的一半，美国的市场份额约占世界的三分之一，中国大陆的年销售额约E""300-500"万美元，闽台地区的年销售额约2500""万美元。由于电子薄膜、光学薄膜、光电薄膜、磁性薄膜和**导薄膜等在**和工业上的大规模开发应用，靶材已逐渐发展成为一个专业化产业。随着**的不断发展，世界的靶材市场还将进一步扩大

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构，晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材，晶粒细小的靶的溅射速
率比晶粒粗大的靶的溅射速率快；而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分
布较均匀。

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形
成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光
武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同
的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材（如铝、
铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等

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