(1)要求回风道全部阻力(包括多孔地板、格栅及风道)、干表冷器阻力及末级过滤器的阻力(在初阻力时),总共应控制在165Pa左右,以满足运行时阻力在250Pa以内。
三、无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则:禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一,是控制带尘的净化设备之一,它可以限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。
清洁剂除了使用**纯水之外,并加入3~5%浓度的IPA或丙酮化学品,以增强去污能力,由于IPA及丙酮具挥发性故此房间排气效果须特别考虑。
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