3、严格各类设备,设施的维护管理,制定相应的操作规程,保证各类设备,设施按要求正常运转,包括净化系统,各类水,气,电系统,生产工艺设备和工具(工具夹)等,以确保产品生产工艺要求和空气洁净度级别
(3)对洁净度要求不甚严的洁净室,末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多,但对IC工厂而言FFU系统的灵活性是重要的,因此当前IC工厂对过滤器满布率≤40%时,采用FFU系统已经普遍。
然而洁净室内除了人以外,尚**器等之发尘源,这些发生的尘埃一旦扩散,即无法保持洁净空间,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
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