中国航天科工飞航技术研究院的刘华松等研究人员采取正交实验法系统地研究了离子束溅射制备的Ta2O5薄膜光学带隙,基于Cody-Lorentz介电常数物理模型,通过光谱反演计算获得薄膜的禁带宽度和Urbach带尾宽度,后得到了Ta2O5薄膜禁带宽度和Urbach带尾宽度的调整方法
Ta2O5薄膜具有较高的折射率和热稳定性、低吸收、无定形微结构和耐化学腐蚀等优点,广泛应用于制备多种光学元件的减反膜、高反膜、分光膜和干涉滤光膜
Ta2O5(氧化钽)薄膜的光谱透过波段为0.3~10um,是可见光到近红外波段重要的高折射率材料之一。
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