净化单元FFU的特点和使用优势

现在，随着半导体电子技术的发展，越来越密集的集成电路也要求着越来越高的洁净等级。 
FFU层流送风单元模块可连接用，使得FFU广泛应用洁净室，洁净工作台，洁净生产线，组装式洁净室和层流罩等应用场合。 

FFU试有初、高两级过滤器，风机从FFU**部将空气吸入并经过初、*过滤器，过滤后的洁净空气在整个出负面以0.45ms+20%的风速均速送出洁净效率100级。 

FFU的特点： 

1、*特的低振动、低噪音； 

2、优异的空气均匀分布性能； 

3、风速自动恒定或有级调节； 

4、**的机械性能和**性； 

5、过滤效率较高可达99.999%@0.3um。 

FFU的使用优点： 

**、灵活性。因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。 

第二、可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。 

第三、负压通风。这是FFU的*特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁静厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且*。 

第四、缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大早的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。 

第五、减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，**的表现出节能、免维护等特点。用大循环减少40%的运行成本。