该产品的**部件是用蓝宝石异质外延技术制成的硅-蓝宝石压力弹性敏感元件,采用钛蓝宝石双重膜片结构。蓝宝石衬底上用外延技术、光学刻蚀技术形成硅应变电阻电桥,蓝宝石-硅膜片与钛合金膜片采用高温微熔焊技术封接成一个整体。蓝宝石衬底的绝缘电阻较高,而且不随温度的变化而变化,其理论工作温度可以高达450℃;此外,蓝宝石绝缘性还有很强抗核辐射能力。敏感元件采用干法测量方式即没有隔离膜片及灌充介质,被测介质直接与钛合金膜片接触,整机为全焊接结构。 TV_182压力变送器的**部件是俄罗斯微电子传感器工业集团生产的蓝宝石压力敏感元件。 被测压力作用在膜片上,膜片变形。膜片变形后,电桥各桥臂电阻值发生变化。信号处理电路测出电阻值的变化,并将其放大转换成标准信号输出 产品特点 宽温区 大信号输出 高强度膜片 宽量程范围 强抗核辐射 高性价比