爱德华罗茨真空泵

EDWARDS　爱德华EH系列罗茨真空泵
EH/QMB系列
EH250、EH500、EH1200、EH2600、EH4200、QMB250、QMB500、QMB1200、QMB2600、QMB4200
概述：
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是较受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵**始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度**。

防爆型机械增压泵可能配备防爆型电机，或作为防爆型系统的一部分供货。



应用

半导体制程
真空蒸馏
真空包装
钢脱气
薄膜覆层
真空冶金
低密度风洞
空间模拟
真空浸渍
油干燥和脱气
制药冷冻干燥
CO2 激光



功能和优势

适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要**过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出较高的**性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
**的轴封技术，处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到较低。
轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要较高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是**技术设备的制造商所需要的。



容积（工作容积）	
50Hz	1195 m3h-1/715 ft3min-1
60Hz	1435 m3h-1/845 ft3min-1
使用后备泵时的有效抽取速度	
E2M80	840 m3h-1/495 ft3min-1
E2M175	930 m3h-1/548 ft3min-1
E2M275	1020 m3h-1/601 ft3min-1
泵的压差 ?	
50Hz	0-90 mbar/0-68 Torr
60Hz	0-75 mbar/0-56 Torr
入口连接	ISO160
出口连接	ISO100
转速	
50Hz	0-2900 rpm
60Hz	0-3500 rpm
连续入口操作压力	0-1000 mbar/0-760 Torr
较大出口压力	1000 mbar/760 Torr
推荐的后备泵	GXS160，GXS250，E2M80，E2M175
电源供给	
50Hz	220-240V/380-415V
60Hz	230V/460V
马达功率	
碳氢化合物	3kW/4hp
PFPE	3kW/4hp
ATEX	3kW
防爆型	4hp
环境温度范围	
操作	5 至 40°C/40 至 104°F
存储	-10 至 80°C/14 至 176°F
较大操作湿度	90% RH
推荐的冷却水流量（入口温度 20°C）	120 l h-1/0.53 gal min-1
推荐的冷却水供应压力*	2-6 bar
冷却水接头	3/8 英寸 BSP 阳螺纹
推荐用油	
标准型	Ultragrade 20
PFPE 版本	Fomblin? YVAC 16/6
油容量	
齿轮箱	1.25 升
联结器箱	2.4 升
轴杆封口储油器	0.125 升
重量	149 kg

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