蒸发源有三种类型。①电阻加热源:用难熔金属如钨、钽制成舟箔或丝状,通以电流,加热在它上方的或置于坩埚中的蒸发物质(图1[蒸发镀膜设备示意图])电阻加热源主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料;②高频感应加热源:用高频感应电流加热坩埚和蒸发物质;③电子束加热源:适用于蒸发温度较高(不**2000[618-1])的材料,即用电子束轰击材料使其蒸发。 蒸发镀膜与其他真空镀膜方法相比,具有较高的沉积速率,可镀制单质和不易热分解的化合物膜。为沉积高纯单晶膜层,可采用分子束外延方法。生长掺杂的GaAlAs单晶层的分子束外延装置如图2[ 分子束外延装置示意图]。喷射炉中装有分子束源,在**高真空下当它被加热到一定温度时,炉中元素以束状分子流射向基片。基片被加热到一定温度,沉积在基片上的分子可以徙动,按基片晶格次序生长结晶用分子束外延法可获得所需化学计量比的高纯化合物单晶膜,薄膜较慢生长速度可控制在1单层/秒。通过控制挡板,可**地做出所需成分和结构的单晶薄膜。分子束外延法广泛用于制造各种光集成器件和各种**晶格结构薄膜。带钢真空镀膜主要性能与传统钢铁工业以资源消耗、环境负荷增加为代价进行扩张的模式不同,通过改变表面性能来开发带钢材料新产品,能够同时满足环保、降低成本、节约资源和提**的综合要求,而且,其发展潜力在理论上是无限的,因为表面控制的自由度大,可以满足用户多样且多变的需求。以表面技术来发展新型带钢材料,主要依赖技术**。 表面技术将是未来钢铁企业产品的****,是企业未来竞争力所在开发新一代连续带钢镀膜技术与产品将是应对市场需求,提高企业竞争力的**佳途径。新型表面工艺和产品实现工业化将可能对钢铁企业和上下游行业的生产工序产生革命性的影响。 市场需求和现有工艺局限性的矛盾,难以通过传统生产线的优化改造来实现,越来越严格的环保标准也要求钢铁企业寻找新型环保的表面处理和涂镀技术,在这方面,目前钢铁业的**人士普遍认为**有希望,**具特色的技术研发方向就是真空镀膜技术。 真空镀膜(包括物理气相沉积和化学气相沉积等)就是通过各种手段把被镀物质转换为气态,在带钢表面形成薄膜镀层。理论上所有的金属、非金属、**物都能通过这个方式形成镀层。 相对于传统的电解镀,热浸镀来说,真空镀膜的主要特点是: 1、成膜温度低。钢铁行业中的热镀锌镀膜温度一般是400℃~500℃,化学镀膜温度较高1000℃以上。这样高的温度很*引起被镀件的变形、变质,而真空镀膜的温度低,可以降到常温,避免了常规镀膜工艺的弊端。 2、蒸发源选择自由度大。可选择的镀膜材料多而不受材料熔点限制,除了热镀锌中常见的锌、铝、锡外,几乎可以蒸镀所有的金属材料,还可镀种类众多的金属氮化膜,金属氧化膜和金属炭化物及各种复合膜。 这为发展新型带钢材料提供了很大的自由度。 3、不使用有害气体、液体,对环境无不利影响。在当前越来越重视环保的大趋势下,这点较其可贵。 宝来利真空机电/丹阳真空镀膜机/镇江纳米真空镀膜机由丹阳市宝来利真空机电有限公司()提供。
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