但大连徕特光电精密仪器有限公司分析由于扫描光斑受到光束漂 移的影响,扫描精度受限,同时传统扫描光斑的大小限制了光斑在ccd上的扫描范围;双频激光法是在测量直线度的基础上进行的,这种方法光能量损失 大,光路调整复杂,且双频激光干涉仪的价格昂贵不适用于大规模的工业生产。
为了克服激光光束漂移对测量精度的影响和减弱光斑在ccd等电荷耦合器件上对扫描范围的限制,本文基于平行光束的远场干涉衍射原理,采用涡旋位 相板对激光光束进行位相编码,经涡旋位相板编码的激光光束可在*产生干涉暗斑。暗斑的中心位置只由涡旋位相板的中心点决定,不随光束漂移变化,暗斑可通 过增强光束功率获得比传统实心光斑小得多的尺寸,在探测面大小一定的情况下,若采用暗斑作为扫描光斑,暗斑则具有比传统扫描光斑较大的扫描范围和较**的定位。本文方法特别适用于小行程的导轨垂直度测量,系统结构较简单、操作比较方便,与传统实心光斑扫描方法相比,具有定位**和测量精度高等优点。系统装置:激光器发出中心波长为635nm的激光,安徽导轨垂直度哪家**-徕特光电精密仪器-浙江导轨垂直度由大连徕特光电精密仪器有限公司()提供。
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