OLYMPUS MX61L具体介绍: 型号 OLYMPUSMX61L型显微镜 光学系统 UIS2光学系统(无限远校正光学系统) 显微镜镜体 射光照明(F.N. 26.5) 12V100W卤素灯泡(预定心型) 明视场/暗视场反射镜可外加1个分光镜组(选配) ,转换使用内置电动孔径光阑(每个物镜可预设,物镜转换时自动转换,暗视场观测时自动打开) 观测方法 ①反射光明视场法;②反射光暗视场法;③反射光诺曼尔斯基微分干涉衬比法;④反射光简单偏振法;⑤反射光荧光法;⑥反射光照明法(IR)⑦透射光明视场法;⑧透射光简单偏振法③/④/⑤需要专门的分光镜组。⑦/⑧需要与透射光照明部件配合使用。 观察镜筒 **宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型 其它:**宽场三目镜筒/宽场双目镜筒 **宽场正像倾斜式三目镜筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型或U-SWETTR型(MX-SWETTR是MX61L的标准配置) 换镜转盘 电动五孔明/暗视野法用转盘,配备滑槽用于微分干涉衬比法观测:U-D5BDREMC型 载物台 MSS-300A:12寸*12寸,行程:356×305mm **日本*精机2轴电动平台,可以进行XY轴同时联动。 带12寸晶圆载物台板。 内置反射光源:100-120/220-240V~1.9/0.9 50/60Hz 能耗 体积/重量 体积:约710(宽)×843(长)×507(高)mm 重量:约51kg(载物台约重31kg) OLYMPUS MX61 - 特点 半导体/FPD检查显微镜;为用户提供**。 MX61适用于较大200mm的样本,而MX61L则可适用于较大300mm的样本。 1、大型载物台搭载:可用于400*300mm液晶基板,300mm晶圆*检查(MX61L)。 2、采用高NA的透射光聚光镜,图象较锐利。 3、多种观察方式,多种照明方式,多种附件以满足不同应用要求。 4、透射和反射照明可同时使用,较大提高液晶基板观察效果。 OLYMPUS MX61 - 对比 OLYMPUS MX61L与OLYMPUS MX61的对比: 半导体/FPD检查显微镜 规格 MX61L MX61 光学系统 UIS2光学系统(无限远校正) 机身 观察方法 明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光 反射/透射 反射/透射 照明装置 机身一体型(明视场,暗视场+1选件) 照明系统 反射照明 100 W卤素/100 W/75 W氙 透射照明 纤维光导 对焦单元 电动/手动 手动 行程 32 mm 分辨率/微调灵敏度 微调旋钮转动1周移动0.1 mm 较大样本高度 30 mm 物镜转换器 电动型 明视场微分干涉6孔 明暗视场微分干涉5孔 明暗视场微分干涉6孔 明暗视场微分干涉中心输出5孔 手动式 - 载物台 行程 14×12英寸右下手柄: 356(X)×305(Y)mm (透射照明范围356×284 mm) 8×8 英寸右下手柄: 210(X)×210(Y)mm (透射照明范围189×189 mm) 6×6 英寸右下手柄: 158(X)×158(Y)mm 观察筒 广角视场 (视场数22) 倒置 双目/三目观察筒 正像 三目观察筒 **宽视场 (视场数26.5) 倒置 三目观察筒 正像 倾斜三目观察筒 附件单元 IR单元/电动载物台/自动装载 外形尺寸 710(W)×843(D)×507(H)mm (标准组合) 509(W)×843(D)×507(H)mm (标准组合) 重量 51 kg(标准组合) 40 kg(标准组合)
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