**爱德华真空泵维修爱德华EH4200罗茨泵维修保养

爱德华真空泵/EDWARDS真空泵/爱德华罗茨真空泵
EH机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是较受欢迎的泵，可用于压力范围为0.01至10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵**始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度**。
应用
半导体制程
真空蒸馏
真空包装
钢脱气
薄膜覆层
真空冶金
低密度风洞
空间模拟
真空浸渍
油干燥和脱气
制药冷冻干燥
CO2激光
功能和优势
适用于在0.01至50 mbar/0.0075至37.5 Torr的压力范围下、需要**过3000 m3h-1/1776 ft3min-1的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出较高的**性。
EH泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：o   安静的无振动运行。
o   牢靠且防腐蚀。
o   **的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到较低。
轴封的设计经过优化，可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要较高标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是**技术设备的制造商所需要的。
技术数据
　型号
EH250
EH500
EH1200
EH2600
EH4200
排量（工作容积）
310 m3h-1/ 185 ft3min-1
505 m3h-1/ 300 ft3min-1
1195 m3h-1/ 715 ft3min-1
2590 m3h-1/ 1525 ft3min-1
4140 m3h-1/ 2440 ft3min-1
使用前级泵时的有效抽速
240 m3h-1/ 141 ft3min-1
350 m3h-1/ 206 ft3min-1
840 m3h-1/ 495 ft3min-1
1750 m3h-1/ 1031 ft3min-1
3100 m3h-1/ 1825 ft3min-1
泵的压力差
0-180 mbar/0-140 Torr
0-110 mbar/0-83 Torr
0-90 mbar/0-68 Torr
0-80 mbar/0-60 Torr
0-60 mbar / 0-45 Torr
进气口连接
ISO63
ISO100
ISO160
ISO160
ISO250
出口连接
ISO40
ISO63
ISO100
ISO100
ISO100
转速
0-2900 rpm
0-2900 rpm
0-2900 rpm
0-2900 rpm
0-2900 rpm
连续进气口工作压力
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
0-1000 mbar/0-760 Torr
较大出口压力
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
1000 mbar/760 Torr
推荐的前级泵
GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80
GV80，E2M80
GV160、GV250、
E2M80、E2M175
GV250、GV400、
E2M175、E2M275
GV400、E2M275
电机功率
 
 
 
 
 
碳氢化合物
2.2 kW / 3 hp
2.2 kW/3 hp
3 kW/4 hp
11 kW/15 hp
11 kW/15 hp
PFPE
1.5 kW / 2 hp
1.5 kW/2 hp
3 kW/4 hp
7.5 kW/10 hp
11 kW/15 hp
ATEX
2.2 kW
2.2 kW
3 kW
11 kW
11 kW
防爆
3 hp
3 hp
4 hp
15 hp
15 hp

规格 : EH4200 ;
外形尺寸 : 1 ;
极限压力 : 1（pa） ;
功率 : 15（kw） ;
用途 : 真空镀膜 ;
驱动方式 : 电动 ;
原理 : 罗茨泵 ;
材质 : 铸钢 ;
型号 : EH4200 ;
** : 爱德华 ;
类型 : 气体捕集泵 ;

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