LUPHOScan非接触三维形貌**测量仪多波长干涉仪

LUPHOScan非接触三维形貌测量仪
LuphoScan是基于MWLI(多波长干涉)技术的非接触三维形貌扫描测量系统，它能够实现**、非接触的光学元件面形测量，包括测量旋转对称的各种球面、非球面、平面、自由曲面等。


测量原理
利用MWLI（多波长干涉）点传感器连续测量传感器到被测件的距离。被测件放置在一个可360度旋转的平台上，两个线性平台（水平(R)及垂直(Z）)用来控制MWLI传感器。在标准操作模式下，传感器垂直于被测表面，同时沿着样件对应的理想的轮廓移动完成面形扫描， 由此产生的点状图即显示了可能出现的任何偏差和缺陷 从而完成了对面形的测试。
测量精度
利用参考传感器及*特的补偿系统， 实现了系统的**测量。通过补偿系统，实现了对测量传感器的连续**定位，并补偿了R，Z及T轴的机械误差。配合****的MWLI传感器技术，LuphoScan系统**了在整个测量区的面形精度**50nm。
应用
LuphoScan干涉仪可以用于测量旋转对称表面的面形，其坐标轴的布局允许它测量大非球面的元件及**状元件，除此之外，还能实现对垂直表面高度的**测量，甚至信号中断之后也可以继续测量。这样可以实现透射元件、金属面、抛光前后、球缺表面的测量。

技术参数
型号Luphoscan+R测量技术光纤多波长干涉技术扫描模式2D线性扫描轮廓，等距，普通3D拓扑扫描旋转，等距，普通测量范围260mm (直径)×75 mm（高度）精度P2V
(光束入射角度<2°)抛光Ra<2um2um≦Ra≦5um±50nm±250nm±1um纵向分辨率0.1nm重复性RMS3nm光斑大小4μm横向分辨率(点/mm2）(可调)0,1….2×105测量时间平面,Ф=25mm120s (16 poins/mm2),
240s(100 poins/mm2球面Ф=60mm
ROC=40mm200s(16 poins/mm2),
442s(100 poins/mm2球面Ф=80mm
ROC=80cm365s(16 poins/mm2),
733s(100 poins/mm2）非球面度无限制，一般≥1000μm较大测试倾斜90°较大测试口径260mm、420mm（或较大） 
 
面形材料抛光，粗糙，镜面，透明，不透明，金属表面
面形种类（任何的旋转对称表面） 球面、非球面、平面、部分自由曲面、台阶
详情电联 1392 1392 657
较近工作距离 : 10（mm） ;
测量分辨率 : 0.0000001mm ;
测量范围 : 260*75 ;
品种 : 其他干涉仪 ;
型号 : LUPHOScan ;
** : LUPHOScan ;
类型 : 激光干涉仪 ;
加工定制 : 否 ;