1、采用*特的磁路设计,突破传统模式,较符合磁控溅射的理念。 2、采用*特的结构设计,冷却充分,可满足大功率、大电流使用要求。 3、较高的溅射率,离子密度较强。 4、较高的利用率,高达80%以上。 5、尺寸范围:靶材外尺寸70、100、150、250,保持一致的均匀性 6、使用范围:如TI、AL、NI、CR、AZO、ITO等。 使用领域:装饰镀、工具镀、ITO、光伏、LOE-E玻璃等 ** 昊光机电 型号 XZ70 产品别名 圆柱靶 用途 真空镀膜 适用行业 真空镀膜 是否提供加工定制 是
深圳市昊光机电应用科技有限公司是一家集科研、开发、生产、贸易为一体的**企业。公司依靠良好的技术,**的产品,科学的经营理念,以及优良的售后服务赢得客户的普遍**。公司现有**中外*、教授、工程师40余名,**集中在激光刻录机、微结构电铸系统,半导体制造、MEMS、光伏太阳能制造等高科技领域。 公司的主要产品系列为: 1、 激光刻录机:双子星型CD/DVD激光刻录机,激光系统等 2、 微结构电铸系统:包括各类清洗设备、精密电铸设备、DI水系统 3、 真空镀膜机:EVA真空镀膜机、MRC943系列真空溅射镀膜机、**高真空设备 4、 等离子刻蚀设备:等离子刻蚀、耦合感应刻蚀、激光刻蚀等 5、 爆光机系列:包括KARL-SUSS MA56光罩爆光系统、MA750爆光机 6、 旋转涂膜机:KARL-SUSS RC8涂膜机、自制涂膜机系列 7、 化学气象沉积设备:LPCVD、微波PCVD、光PCVD沉积设备 8、工厂环境系列:各种清洗台、无尘车间设计与施工、**净台等 昊光科技公司的系列产品在光盘母盘制造、半导体制造、芯片领域、光伏太阳能产业、光电产业、MEMS制造、平板显示、TFT屏等各个领域有广泛的应用,得到了大学实验室、半导体*、微纳结构制造、光伏行业客户的各类具体应用。 加工方式 : 来样加工; 工艺 : 电镀;机加工; 产品质量认证 : CCC; **名称 : 昊光科技 质量控制 : 内部