HORIBA SEC-Z524质量流量计控制器

HORIBAZ524质量流量计
无锡市三环仪器有限公司
0510-88701706


质量流量计是半导体制造设备中非常关键的零部件。它的工作稳定与否往往成为半导体制程成败的关键因素。 

HORIBA STEC, 作为**范围内市场占有率**过35%*1的流量计生产商, 长期以来始终如一的为半导体工业提供高质量、多功能的产品。现在，手携全新的技术，HORIBA STEC 正在向**推广新型的质量流量控制器： Z500系列。 

相对于旧有的型号，Z500X 系列实现了全新的突破， 而且注定将改变流量控制技术的未来。在提供客户所需流量控制的所有功能的同时, 实现了复合气体、复合流量的转换。客户可以根据制程需要，轻松地更改流量计气体种类和量程*2。 

此外，藉由产品材料的技术革新， Z500系列*满足了 RoHS 绿色产品的设计要求，为客户提升产品**。 

**的Z500系列流量计，将带给您更多**。全世界正见证着这一即将改变整个半导体工业的新型质量流量计的诞生。 

*1 参考 VLSI\'s 2007 研究报告。
*2 复合气体、复合流量功能。 

特征
**：设定流量值±1.0%.
MFC的线性精度是由多项式近似曲线进行补偿的， 此技术**在各控制范围内获得高的控制精度. 为了改善各种实际气体种类的控制精度， HORIBA STEC研发了标准的气体测量系统， 并在大量实验的基础上，采集各种制程气体的校准数据。 
高速响应
SEC-Z500X 使用了较新开发的“可更改PID”系统，**任意两个设定流量点之间的更改在1秒钟之内完成在设定不同流量时，PID数据将进行自动的调整，即使在气体种类和流量范围变更后，PID数据也能够自动优化，实现高速响应。 
复合气体、复合流量方案
HORIBA STEC 新产品让客户轻松地在现场更改气体种类和流量成为现实. 我们的 Z500 设置软件简单、易用. 较好的是, 这些变更的完成甚至不需要将MFC从系统拆卸下来。 如此一来，就可以很大程度上减少客户备品的数量，同时节省了时间和成本。

无锡市三环仪器有限公司**从事纺织工业检测、太阳能光伏、半导体、石油化工、平面显示、集成电路、光纤制造、各大科研院校等质量流量控制系统的销售与服务。是质量、流量、压力、真空、温度测量与控制系统的**供应商。
    质量流量控制事业部**从事销售服务世界着名的MFC,****有:Brooks、MKS、UNIT、Tylan、AE、STEC、Alicat等,品种规格齐全,同时经销真空和镀膜设备的**包括:INFICON(膜厚控制仪、真空计/真空规、四较质谱仪、压强控制系统、氦质谱检漏仪、冷媒检漏仪、真空阀门),COMDEL、AE、HUETTINGER(直流电源、射频电源、中频电源),VARIAN、PFEIFFER真空泵等;气体压力及流量测量和控制, 射频 /直流 /微波电源发生器及测量工具, 氟离子 /臭氧反应气体发生器, 真空产品, 气体分析仪, 静电控制及信息和控制技术等产品。我们提供世界较**的气体流量校准系统,对任何**的MFC都可**的清洗校准。外观光洁如新,性能**,原厂验收标准。
     纺织工业事业部**从事纺织测试仪器的研发与销售,产品广泛应用于纺织、印染、服装、皮革、化工、印刷、材料等行业的颜色管理、品*测、实验室打样等。涉及GB、ISO、ASTM、AATCC、BS、EN、DIN、JIS等标准,涵括各种纺织材料的强力、色牢度、缩水率、透气、阻燃、**、起球性能等测试仪器一百余种。产品已广泛用于全国各大*科研机构及广大纺织、印染、服装企业,并**美国、德国、日本、巴基斯坦、印度、越南、孟加拉、澳大利亚等地区。同时特许经销AATCC、SDC、ISO、JIS等**标准实验耗材,为客户提供了实验室整体解决方案,深受客户**!同时签约的着名**有:美国x﹒rite、美国whirlpool、英国VeriVide、瑞士mettler Toledo荷兰PHILIPS等。
 
**、生命之元,诚信、始能为亨,质量、锐意求**,效益、共济利群。
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