供应CVD气相沉积炉

序号
技术项目
技术指标
CVD600型
CVD3000型
1
有效装饰空间
Φ600*1200mm
Φ1500*1500mm
2
极限使用温度
1800℃
1800℃
3
常用工作温度
150-1650℃
1000-1300℃
4
较小使用寿命
5000次循环
5
温度均衡性能
±10℃以内
6
发热均衡样式
石墨管式
7
适应气氛
N2、笨烯等非氧化性气体
8
极限真空度
1.0Pa
9
允许充气压力
0.01MPa
10
加热功率
160KVA
400KVA
11
供电电源
三相AC380V/50Hz
 
主要工作性能：
1、本设备多用于C/C复合材料的生产。
2、充气系统：多种气体质量流量计调输出到混合罐后，再分多路经浮子流量计控制输送到加热炉上多层环绕管道，通过56个喷灌向炉内均匀喷射。可自动或手动调节流量。
3、加热系统：采用三相可控硅交流调压，低压大电流升温加热。
4、控制系统：采用PLC模块进行控制，可实现现场操作与远程计算机管理，能自动记录设备运行数据并打印存档。
5、可编程数字控温仪控温，单点控温，多路巡查。
6、系统具有加热电流过流、短路保护，电压过压保护：真空泵过负载、缺相保护、气体过压保护：系统断水及电炉**温报警。
7、系统充气压力通过压力传感器由数字显示，并可实现自动控制。