- 产品描述
Genesis系列RF电源 Genesis系列RF发生器可用于高**性的刻蚀工艺、CVD和PVD工艺中。该系列产品的频率涵盖了低频到高频，功率从1250 W到8500 W。基于数字信号处DSP的功率控制系统能够检测内部子系统的状态，并配有内建的诊断和自动防故障的存储器件。 ENI(MKS)电源产品维修目录: ENI(MKS) DC(直流电源) ●DCG Series:DCG-75、DCG-75E、DCG-100、DCG-100Z、DCG-100E、DCG-150、DCG-150E、DCG-200、DCG-200Z、DCG-400、DCG-600 ●RPG Series:RPG-50、RPG-100、RPG-200、Polara-260A ●OPTIMA Series:OPT-50、OPT-100、OPT-200、OPT-400、OPT-600 ENI(MKS) RF(射频系列) ●DPG(RPDG) Series:DPG-10-05、DPG-10 ●ACG Series:ACG-3、ACG-3B、ACG-5、ACG-6、ACG-6B、ACG-10、ACG-10B、2100L-15P；5100L，600L，600P，601P ●OEM Series:OEM-6、OEM-6A、OEM-6B、OEM-12、OEM-12A、OEM-12A-XL、OEM-12B、OEM-12-B3、OEM-2**、OEM-25-XL、OEM-28B、OEM-50、OEM-1250、OEM-2000、TEL-7000-RF ●SPECTRUM Series:B-1513、B-3013、B-10013、B-10002、B-5002、B-11002、B-5513Z、B-10513 ●SUREPOWER Series:QL-3513、QL-6513、QL-10513、QL-13013 ●GENESIS(GHW、GMW、GEW、VHF)Series:GHW-12、GHW-25、GHW-50、GHW-80、GHW-2527、GHW-3040、GHW-58A、GHW- 8**、GMW-2**、GMW-25Z、GEW-2527、GEW-3040 ●NOVA Series:NOVA-2**、NOVA-25、NOVA-50A ●RACK Series :RACK-AM-300 ●OTHERS：DPGS-10、DPGD-10、LPG-6A、LPG-12A、PL1-HF、PL2-HF、PL3-HF、Quanta-10、HF-300、HF-650、HPG-2 ENI(MKS)匹配网络 ●D Series:MW-5D、MW-10D MW-5D-01B、
注册资金:人民币 100.00 万 年营业额:人民币 1001 万元/年 - 2000 万元/年
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主要经营ENI(MKS)电源维修;RF射频电源维修;AE(Advanced Ener电源维修;RFgenerator;plasma power supply;Singulus电源维修;RFPP电源维修;MatchNetworks维修。
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