- 产品描述
蚀刻/开发/清洗全套系统 （EDC-100系列） •单晶圆蚀刻旋转涂覆机; •**聚丙烯NPP材质或特富龙材质 ; •与镀膜相对应，本系统专为蚀刻，开发及清洗过程而 设计； •针对许多混合水试剂的应用提供的解决方案； •可以和650控制器，SPIN3000软件配套使用EDC 系统 这是一种灵活，*和实惠的研发工具，EDC 系列常被 应用在以溶剂和水为基础的处理过程：蚀刻-清洗-干燥 ，开发-冲洗-干燥，以及利用溶剂和水的清洗。其旋转 涂敷机部分，具有多种板载滴胶阀的零孔隙度特富龙流 体路径等特点，干净的ECTFE圆顶盖使用户能够实时观 察过程的*运行，记事是每一单步处理过程模式也可 以（Laurell *有的性能）。
EDC 系统具有可编程阀，它可以使单注射器试剂滴胶按 照蚀刻，开发和清洗应用的要求重复进行，如冲洗（通 常是去离子水或溶剂），然后干燥（通常是氮气）等较 后的处理步骤。采用此序贯阀门技术的晶圆片和管道在 *干燥的环境中开通和关闭处理过程。隔离和独立的 给水器可处在静态的位置还可以盖内调节。本系统还有 可选择的动态线性或径向滴胶的特性。虽然在这些过程 中常采用非真空转头，该系统仍然具备真空下压能力。
迈可诺技术有限公司是一家致力于光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商，在中国大陆设有内地营销服务中心，**经销欧美日韩着名**实验室光电半导体化工仪器设备，零附件，试剂耗材，对中国国内广大客户提供*的产品咨询和技术销售服务。
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主要经营匀胶机，旋涂仪，甩胶台，匀胶台，涂层机，涂胶机，涂膜机,旋转涂敷仪, 等离子清洗机，光刻机/曝光机，压力机, 压片机, 热压机，WABASH热压机, CARVER热压机,LAURELL匀胶机、HOT **TE热板 烤胶机 Laurell匀胶机 SPS匀胶机 Harrick等离子清洗机 Diener等离子清洗机。
单位注册资金:人民币 10 万元以下。
作为一家从事教育装备多年的企业，主营匀胶机,等离子清洗机,热压机,湿法刻蚀系统,紫外臭氧清洗机,光刻机等产品，不论是什么样的客户我们都会以真诚的态度，优惠的价格，可靠地品质及热忱的服务来面对您。而且大量的库存以及合作的物流公司，确保您的货物能准确安全的到达您的手中。一切为成为您可靠的伙伴而努力！
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