洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以**有±0.1度的恒温,同时要求湿度20540一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜**过25度。湿度过高
上海仕同净化工程设备有限公司成立于2010年至今,是一家**从事10级到30万级净化工程、百级手术室、无菌实验室、洁净手术室、层流病房等设计、施工安装、调试、风淋室、净化工作台、传递窗、*柜、排烟柜、钣金加工、道具制作等生产、设计、安装、及售后服务为一体的工程设备制造公司。本公司员工都有十几年的净化工程施工和钣金制作经验。本着“以质量求生存,以信誉求发展”的宗旨,在**业中脱颖而出,拥有一批良好的生产管理人员和技术人员。工厂现拥有现代化的机械设备,如:数剪、折弯、冲床、钻床、切割、焊机、氩弧焊等。各类非标产品的设计及制造,设计范围有净化工程、净化设备、煤矿设备、水处理设备、公*控、手术室设备、医疗防辐射等产品**生产加工的公司,拥有完整、科学的质量管理体系。上海仕同净化工程设备有限公司的诚信、实力和产品质量获得业界的认可。