BAILEY IMDS003

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系统硬件设计 　　根据半导体扩散/氧化工艺过程的要求，即既要实现整个工艺控制过程自动化又要实现半导体扩散/氧化工艺要求。系统以PLC为**，液晶触摸屏为人机界面，采用自行研制的JC-9温度检测模块实现温度的采集等。系统硬件结构如图1所示。 [align=center] 图1系统硬件结构图 Fig.1 Structure chart of the systematic hardware[/align] 　　由图1所示系统硬件包括三个闭环控制： 　　① 温度控制：采用JC-9温度检测模块实现温度检测，通过PLC调用PID控制算法控制自行研制的三相大功率调压调功单元来实现温度的控制，实现闭环控制。 　　温度控制是扩散工艺控制系统中较重要的环节，控制效果的好坏直接决定着半导体扩散的质量。要**控温的精度**要**温度的检测精度，其次要有相应的控制算法。系统采用的JC-9温度检测模块的检测精度**0.5‰，编写模糊自整定PID控制算法使控制精度**1‰。 　　② 气体流量控制：PLC从气体质量流量计的数字接口直接读取气体实际流量值，并根据扩散工艺中对气体流量的要求通过数字接口进行流量输出控制，实现闭环控制。 　　③ 推拉舟控制：PLC直接读取推拉舟位置编码器的数据来判断推拉舟的位置，通过高速脉冲输出口控制步进电机的驱动器来控制步进电机的运行，通过发送脉冲数控制推拉舟的位置，通过脉冲的频率控制推拉舟的速度。实现推拉舟的位置/速度闭环控制。
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