深圳 展芯科技 VM系列探针台

产品应用：
DC、RF、mmW测试；
纳米级电子器件测试、微机电测试；
**导测试。
产品特点：
80k-573k温度范围，可扩展至4k-1073k。
载物台内部液氮浸润式结构，**降温，液氮使用量较少，节约耗材成本。
高真空不锈钢真空腔体（配套分子泵组可达10-6mbar）。
低温测试时真空腔体体内无凝露、结霜。
红外截止玻璃观察窗，提升测试腔内部温度稳定性。
4探针点测系统，较多可定制8探针点测系统。
配套同轴或三轴电缆可应用于**的DC测试。
配套微波测试套件可应用于DC-67GHz的RF测试或频率较高的mmW测试。 

载物台	
尺寸:4"（2"、6"、8"方案可选）
材质:合金铜
表面处理:可选**镀层或沉镍镀层
平整度:<50μm@300℃
	
载物台移动基座（可选项）	
X-Y轴行程范围:4"*4"，根据载物台尺寸可选较大行程，电动控制系统可选
精度:1μm
R轴微调角度范围:±9°
R轴微调精度:0.0001°/deg
Z轴细调行程范围:13mm
细调精度:1μm
Z轴快升行程:350μm
Z轴往复精度:<1μm

温度控制系统	
温度范围:80k-573k
温度精度:0.1℃
温控精度:温控精度0.1℃，连续变温无节点。
温度均匀性:0.1℃@4(100mm)载物台。
加热方式:电阻加热
制冷方式:液氮制冷
杜瓦罐容量:80L自增压液氮杜瓦罐
致冷剂消耗量:15L液态氮（室温降至80k）
温度扩展范围:4k-1073k 

真空系统	
真空度:10-3mbar*（可配套分子泵组，达到较高的真空度10-6mbar）
真空泵:旋片式双级油封真空泵，可升级涡轮分子泵组
抽速:16m3/h
抽真空时间:5min（10-3mbar）
真空焊接波纹管:三维弯曲大于25mm（定制参数）
法兰:KF（较高真空度要求则使用CF）

真空腔体	
腔体材质:不锈钢
观察舷窗:红外截止玻璃**
真空泵接口法兰:KF25
液氮接口法兰:KF25


点测系统	
探针座数量:4个（较多8个，可根据需求定制）
探针夹具:4个（较多8个，可根据需求定制）
定位精度:5μm（可根据需求定制）
X-Y-Z轴移动行程:25mm*25mm*25mm（可根据需求定制）

光学系统（体视显微镜）	
光学放大倍数:15X-100X 
变焦倍率:0.75X-5X（变倍比6X）
CCD:1/3”数字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口
显微镜旋臂:两段式显微镜支架，可**移动定位显微镜

光学系统（单筒显微镜）	
光学放大倍数:400X(21英寸显示器)
变焦倍率:0.58X-7X（变倍比12X，**大变倍范围）
CCD:1/3”数字CCD，1920X1024像素，30ftps，USB2.0接口
显微镜旋臂:两段式显微镜支架，可**移动定位显微镜

显微镜移动基座（可选项）	
X-Y轴行程范围:2"*2"，根据载物台尺寸可选较大行程，电动控制系统可选
精度:1μm

防震台	
隔震方式:气囊式防震台
固有频率:1.2Hz（水平），1.5Hz（水平）
样品振动:<300nm（真空泵工作时）
*低温测试时真空腔体内无凝露或结霜。
**红外截止玻璃：过滤红外光，防止红外光进入真空腔体内使腔体内部升温，提升载物台温度稳定性。
***77k为液氮温度，实际操作中，由于载物台热传导损耗的存在，无法达到77k。根据液氮循环的时间而定，实际较低温度不会**85k。

**简介-PRCBE

展芯科技是一家**的探针台系统研发和生产商，致力于为用户提供中国（PRC）**（Precise）、**（Reliable）和高性价比（Cost-effective）的探针台系统。        
依托于自有的芯片失效分析实验室，展芯科技得以根据较**的测试需求不断地研发改进探针台系统，以满足用户日新月异的测试需求。同时，芯片失效分析实验室也为展芯的探针台系统提供了理论联系实际的测试平台，芯片分析实验室用户在使用探针台系统的同时，也给我司产品提供了宝贵的改进建议。       
经过10年的发展和积累，展芯已在探针台系统的应用技术领域**了**的成绩，可针对用户不同的测试需求定制解决方案，如微弱电流测试（1fA）、RF 和mmW测试（THz）、高功率测试（100A，10kV）、真空高低温测试（-196℃~800℃）、光电测试等等。
凭借着PRC的产品，展芯赢得了半导体行业内**科研机构和公司的信任和尊重，建立了长期的合作关系。展芯的探针台系统已在国内外的科研院所、学校和公司中获得广泛的使用，如中科院、广州五所（赛宝实验室）、北京自动化设备*、电子科技大学、西安电子科技大学、*大学、北京大学、复旦大学、中国香港大学、中国香港科技大学、中国香港城市大学、华为、中兴、比亚迪、富士康等等。

展芯科技是一家**的探针台系统研发和生产商，致力于为用户提供中国（PRC）**（Precise）、**（Reliable）和高性价比（Cost-effective）的探针台系统。        
依托于自有的芯片失效分析实验室，展芯科技得以根据较**的测试需求不断地研发改进探针台系统，以满足用户日新月异的测试需求。同时，芯片失效分析实验室也为展芯的探针台系统提供了理论联系实际的测试平台，芯片分析实验室用户在使用探针台系统的同时，也给我司产品提供了宝贵的改进建议。        
经过10年的发展和积累，展芯已在探针台系统的应用技术领域**了**的成绩，可针对用户不同的测试需求定制解决方案，如微弱电流测试（1fA）、RF 和mmW测试（THz）、高功率测试（100A，10kV）、真空高低温测试（-196℃~800℃）、光电测试等等。        
凭借着PRC的产品，展芯赢得了半导体行业内**科研机构和公司的信任和尊重，建立了长期的合作关系。展芯的探针台系统已在国内外的科研院所、学校和公司中获得广泛的使用，如中科院、广州五所（赛宝实验室）、北京自动化设备*、电子科技大学、西安电子科技大学、*大学、北京大学、复旦大学、中国香港大学、中国香港科技大学、中国香港城市大学、华为、中兴、比亚迪、富士康等等。        
感谢您对展芯的关注，相信我们PRC的产品定能让您在集成电路 (IC)、电路板、光学器件、MEMS、3D TSV、LCD等**半导体器件的精密电气测量及测试中获得****的测试数据。