美国布鲁克斯 Brooks 智能低温泵

产品优势： 

1. 专门为离子植入制程所设计的新一代智能型低温泵系统。   

2. **的分布式监控系统及个别调整低温泵功能，以维持系统较佳的真空效能，提供制程所需的的一致性。    

3. **再生系统和可同时控制多组低温泵。

4. 节能设计,不需消耗太多能源和冷却水－仍可以提供较佳的真空性能。

5. 安装*，使用方便。

6. 加强型GOLDLink软件提供远程监测预防和预测性维护。

7. 只要付出较少的成本即可拥有较高正常运行时间，较高的生产率，较低的整低温泵系统。

8. **Helix服务和支持。

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