激光调阻机解决方案 产品特点:调阻精度高 **的激光器提供了TEM00高光束质量和较细线宽的激光束 四线制高速测量系统,测量时间仅为25us 拥有软件预调误差补偿功能 调阻速度快 **的激光器拥有较高的重复频率,在**光斑重叠率的情况下能拥有很高速度 德国进口扫描振镜,扫描速度较快 **分步重复机构,空气轴承,移动速度及加速度快 **性高 整机配置**器件均采用**进口配置 采用花岗岩台座,稳定** 功能强大 拥有温度实时补偿功能 同时具有激光划片和打标功能 运行及维护成本低廉 采用半导体端面泵浦或光纤激光器 使用寿命长,性能稳定 电光转换**,节约用电成本 采用风冷系统,无须外置冷却设备 操作简单,无须高额培训成本 激光调阻机技术参数: 激光器系统 激光类型:半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器 激光波长:1064/532/355nm 激光平均功率:10W / 20W / 7W(UV355) 激光频率:200Hz-50KHz 典型光斑尺寸:30µm 实际切口取决于材料、光学器件和波长;可根据需要选配532绿激光或355紫外激光较小光斑达12µm 泵浦源使用寿命:20,000—100,000小时 冷却方式:风冷 对焦方式:计算机程序控制 激光束定位系统 激光束运动范围:75mmX75mm(可选配其他规格) 点到点运动时间:5ms(典型) 较大速度:7000mm/s 重复定位精度:2.5µm 激光束较小步进:0.76µm 图像监视系统 监视方式:激光同轴监视 较大放大倍数:>100倍 图像监视显示屏:19寸液晶 测量系统 激励方式:电流/电压激励 恒流源:0.01µA~100mA计算机程控选择 恒压源:0~20V计算机程控选择(可选其它电压范围) 电阻测量方式:四线制加电流测电压 直流电压测量:10mV~10V(满程电压) 调节对象发热控制:程序可设定 电阻测量精度:低阻:<0.05%+1%/R (R<100Ω) 中阻:<0.05% 高阻:<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ) 电阻测量范围:0.01Ω-500MΩ 电阻测量速度:25µs 直流电压分辨率:0.16µV(在10mV满量程条件下) 探针板:44针11组四线制(可选其它规格) 探针板运动:计算机程序控制 计算机及软件系统 工业控制计算机(双核),17寸液晶 操作系统:Windows XP VB平台开发的可视化应用软件,界面友好,功能强大 分步重复运动系统 运动XY范围:290x260mm 运动分辨率:1µm 定位精度:小于6µm(带误差补偿) 重复定位精度:小于3µm 较大运动速度:900mm/s 具有温度补偿等功能 非接触温度测量 温度测量精度:0.2℃ 调阻温度修正:计算机程序控制 其它技术指标 供电电压:220V AC 整机功耗:小于1000W 激光调阻机应用和市场: 主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于 厚膜混合集成电路 电子元器件 汽车电器 传感器 **科研 片式电阻等行业