1.**:0.1um分辨率, 2.高重复精度:+/-0.5um 。 3.高运动速度: 4.高加速度: 5.速度波动较小:速度波动控制在+/-0.04%之内。 6.较稳定的低速特性:在速度为10mm/s时的速度波动为0.2%。
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