显示方式: LCD 气流方向: 70个百分点循环、30个百分点排放 主过滤器类型: ULPA 排气过滤器类型: HEPA 灭菌灯类型 : 石英*紫外线杀菌灯 环境温度(℃): 10~30 相对湿度(RH): ≤85个百分点(25℃时) 大气压力(Pa): 80~105 主过滤器效率(%): ≥99.999针对0.1~0.2μm的微粒系 排气过滤器效率(%): ≥99.99针对0.3μm的微粒系 流入气流平均流速(m/s): 0.5~0.6 下降气流平均流速(m/s): 0.25~0.5 下降气流控制精度(m/s): ±0.015 风速分辨率
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