仪器介绍: Talysurf CCI三维非接触形貌仪采用CCI(**技术的相位相干算法)干涉原理,可**测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸,并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件,半导体器件,光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。 MMD-220A型轮廓仪通用型 常规参数:圆弧处理(半径、圆心距等)、点线处理、角度处理、直线度、 凸度、对数曲线、倒角R、倒角坐标 导轨直线性:≤0.2чm/100mm 示值误差:0.6%-0.15%±2чm Z量程:10mm Z向分辩率/量程:1/65536 X向量程:≤220mm X向光栅分辩率:1чm 附件:调偏工作台、综合调整台、精密V形工作台、球测头、斜测头、锥测头 MMD-100B 型 轮廓仪 **型 常规参数:圆弧处理(半径、圆心距等)、点线处理、角度处理、直线度、 凸度、对数曲线、倒角R、倒角坐标 导轨直线性:≤0.2чm/80mm 示值误差:0.8%-0.1%±2чm Z量程:10mm Z向分辩率/量程:1/65536 X向量程:≤100mm X向光栅分辩率:1чm英国 附件:调偏工作台、综合调整台、精密V形工作台、球测头、斜测头、锥测头 MMD-220B 型 轮廓仪 **型 常规参数:圆弧处理(半径、圆心距等)、点线处理、角度处理、直线度、 凸度、对数曲线、倒角R、倒角坐标 导轨直线性:≤0.15чm/100mm 示值误差:0.5%-0.1%±1чm Z量程:10mm Z向分辩率/量程:1/65536 X向量程:≤220mm X向光栅分辩率:0.05чm英国 附件:调偏工作台、综合调整台、精密V形工作台、球测头、斜测头、锥测头
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