1 ステージ面サイズ[mm] 60×60 マイクロ位置 サイド 回転中心高さ[mm] 100±0.2 回転中心振れ精度 0.01mm以下 移動量[mm] ±3.0° マイクロメータ较小読取 ≒18″/目盛 移動ガイド クロスローラガイド 耐荷重 5.0kgf【49.0N】 許容モーメント荷重ピッチ[N・m] 1.5 許容モーメント荷重 ヨー[N・m] 2 許容モーメント荷重 ロール[N・m] 2.6 モーメント剛性 ピッチ[/N・cm] 0.27″ モーメント剛性 ヨー[/N・cm] 0.09″ モーメント剛性 ロール[/N・cm] 0.10″ 自重[kg] 0.3 材質‐表面処理 アルミ‐黒アルマイト