供应干式真空泵“ESR系列”

荏原製作所干式真空泵“ESR系列”
ドライ真空ポンプ“ESRシリーズ”ESRシリーズはロードロック室?SEM等軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションを対象とし、排気速度可変機能?通信機能等の付加価値をそのままに、省エネルギー効果?省設置面積?軽量化を達成した独立設置対応用ルーツ型ドライポンプです。
荏原製作所 型号:ESR20N ，排気速度(L/min):1300～2000
荏原製作所 型号:ESR30、ESR30N ，排気速度(L/min):1500～3000
荏原製作所 型号:ESR80W、ESR80WN ，排気速度(L/min):4000～8500
荏原製作所 型号:ESR200W、ESR200WN ，排気速度(L/min):10000～20000
荏原製作所 型号:ESR300W、ESR300WN ，排気速度(L/min):15000～30000
注記 
* 排気速度は回転数制御設定によります。 
* "N"タイプは耐食仕様です。 

特長
軽負荷～腐食性ガス使用プロセスに较適 
低ランニングコスト?省エネルギー?较大60%減
（当社 AA型シリーズ比） 
軸シールN2不要(ESR20N) 
小型?軽量?较大40%減
（当社 AA型シリーズ面積比） 
ポンプ回転制御機能拡充 
**通信機能搭載 
ポンプ高度制御方式採用 

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