型号 SJ-201P SJ-201P SJ-201M SJ-201M 检测器测力 0.75mN 4mN 0.75mN 4mN 评价长度 12.5um 12.5um 12.5mm 12.5mm 测量范围 350um-200mm-+150mm 驱动部 / 检测器 检测器: 178-395/178-390 探针:钻石型 针尖半径: 2um/5um 检测方式:微分感应 评定轮廓 P,R,DIN4776 曲线 P,R,Motif 评价参数 Ra,Ry,Rz,
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