EMITECH K975X多用途高真空蒸镀仪 K975X涡轮蒸镀仪是一个多用途系统,它具有灵活性和模块化扩展功能,以适应不同的样品制备。 它可从蒸篮和坩锅进行碳蒸发、金属蒸发并且可选溅射附件。 K975X可应用一系列成熟技术,包括镀碳及TEM覆形,碳/金属蒸发、低角度Shadowing和通过使用双源蒸发进行顺序涂层,可选的溅射镀膜附件能适用于各种靶材。 通过使用微处理控制器,较增强了系统的灵活性,用户很*附加各种可选件,但是这些“缺省”都是经过优化操作设计,使得全自动和手动操作均可实现较佳操作。 *特的抽屉式样品装载系统使用户方便放入各种样品,铰链式顶盖结构很*达到系统其它区域。 涡轮分子泵安装在系统外部,可方便安装及更换,它的前级真空为旋转真空泵。 整个抽气过程为全自动控制,达到高真空后进行蒸发。本仪器为台式,可方便地进行使用控制,使用中的疏忽也不易造成损坏。 K975S半导体晶圆蒸镀仪 K975S基于K975X,但是它具有特殊的装载锁定门,可允许放入8英寸(200mm)晶圆镀碳,应用于FIB。 仪器特点 仪器优点 ● 全自动抽真空系统 ● *操作 ● 样品尺寸可达140毫米见方或200毫米直径 ● 使用灵活 ● *特的“anti-stick”碳棒蒸发机构 ● **的碳蒸发 ● 抽屉式样品装载系统 ● 方便的样品装载及卸载 ● 可选的蒸镀类型,具有四种蒸发设置 ● 灵活的操作,可选择碳及金属蒸发源 ● 约束的或开放的排气控制 ● 在排气过程中可防止样品损坏 ● 可选用各种溅射靶材附件适用于一系列金属 ● 系统灵活性强 ● 可选膜厚监测系统 ● 很*测量金属或碳沉积膜厚 技术规格 仪器尺寸:450mm W x 500mm D x 300mm H 工作腔室:硼硅酸盐玻璃,带有铰链式顶盖。250mm Dia x 300mm H(样品可达直径200 mm即8") *钟罩:聚碳酸酯,维护时工作腔室很*移开 重量:65Kg 碳枪:高度可调,倾斜0-20o ,使用直径6.15mm碳棒 涡轮分子泵:100L/Second为标准配置,可选各种尺寸 真空计范围:ATM - 1x10-7mbar 工作真空达到时间:15分钟内 操作真空:10-5 mbar量级(可选液氮冷阱) 蒸发源(脉冲或可变控制):四种模式可选,低电压a.c. V, 5V, 15V,25V @ 25 amps. 7V @100 amps 样品台:0-45o可倾斜 旋转样品台(可选):直径60mm,倾斜0-45o,具有15rpm 到 45rpm可变速度控制 Services –Argon(对可选溅射附件) - Nominal 4psi. 真空泵:No. 2 泵(2m3/Hr),complete with Vacuum Hose & Oil Mist Filter 电源:230V 50/60Hz (包含泵较大电流为8 Amp);115V 50/60Hz (包含泵较大电流为16 Amp) 注:In Circuits with Current Trips , when using Pulse for 230 v a 16amp minimum for 115 v a 32 amp minimum
南京康是福科技实业有限公司创建于1993年9月,是全国较早生产**高倍显微仪的企业之一。公司座落在风景秀丽、历史悠久的六朝古都——江苏省南京市,东临沪宁高速公路,北接京沪铁路,南有禄口**机场,交通十分便利。
经过十几年的**发展,南京康是福科技实业有限公司已成为集科、工、医、贸于一身的**企业。公司以高科技为先导,以雄厚的科研力量和资金为基础,以国内良好的医学*、学者和相关*机构为依托,**在国内研制出了集现代光学、光电学、医学影像学和多媒体计算机于一体的现代**微智能诊断设备,是国内同类产品中一拥有和使用系统*诊断软件的**产品,真正实现了诊断结果的自动判定。它集中了光学显微镜多视野观察的优点,其放大倍数*了光学显微镜和电子显微镜之间的*,是显微放大技术和数字化图像处理系统的**结合。该设备拥有国内**部理论与应用的著作权,并获得地区**,产品**通过了**ISO9001:2000质量管理体系认证。
公司凭借其**的生产设备、雄厚的技术力量、完善的检测手段、**的产品质量,使产品**全国二十多个省、市、自治区,并得到了一大批**客户的肯定。
公司按照ISO9001的要求建立了完善的质量管理体系,运用严格的管理方法,对产品生产过程进行*实时监控,使每一个过程、每一个环节都做到一丝不苟,不留隐患,并实现了全程追溯,以确保每道工序“零缺陷”目标的实现。公司还拥有一支由技术骨干组成的服务队伍,定期走访客户,了解产品临床使用情况,向客户提供相应的技术咨询,及时处理客户的各种反馈信息。
让每一个顾客满意,是康是福人不懈的追求!