高纯氩,纯度高达99.99的稀有气体,在半导体制造中扮演着的角色。在晶圆制造的刻蚀环节,高纯氩作为保护气体,能有效防止晶圆表面氧化,确保电路图案的转移。此外,高纯氩还用于清洗和吹扫,去除杂质,提升芯片良率。随着半导体工艺不断精进,对高纯氩纯度的要求也日益严苛,其重要性不言而喻。
高纯氩气的使用注意事项:
1、封闭式工作:封闭运行可提供良好的自然通风条件,接受培训严格遵守操作规程,防止气体泄漏到车间空气中;
2、运输过程中应轻拿轻放,以免损坏气瓶及附件,配备泄漏应急处理设备;
3、高纯度氩是一种高压气体,储存在无色、无味、的未燃烧气瓶中;
4、如果其含量增加,氧含量**19.5%将导致窒息,配备自吸呼吸面罩;
5、本产品为高压充电气体,需减压后方可使用;
6、包装气瓶具有使用寿命:过期的气瓶送部门进行检查,请继续使用;
7、每个气瓶使用尾气时,瓶内残余压力为0,保持在5MPa,至少为0.5MPa,残余压力不得**25MPa。应关闭瓶阀,以确保气体质量和使用;
8、氩气在运输、储存和使用过程中,应分类堆放,严禁堆放可燃气体和燃烧气体,不要靠近火焰和热源,不要沾上油蜡,不要晒太阳,不要再扔,不要碰撞,不要在气瓶上产生电弧或电弧,严禁野蛮装卸。
在光纤通信领域,高纯氩气是制造光纤预制棒的“美容师”,为光纤的诞生奠定基础。光纤预制棒是制造光纤的原材料,其质量直接影响光纤的传输性能。
在光纤预制棒制造过程中,高纯氩气主要用于化学气相沉积(CVD)工艺。在CVD反应炉中,高纯氩气作为载气和保护气,将反应气体输送到反应区,并形成稳定的气流场,确保反应气体均匀沉积在石英管内壁上,形成高纯度、低损耗的光纤预制棒。
在食品工业中,高纯氩气作为一种新型的食品保鲜剂,正逐渐成为“秘密”。氩气是一种无色、无味、的气体,化学性质稳定,能够有效抑制食品的氧化和微生物生长,延长食品的保鲜期。
在食品包装过程中,将高纯氩气充入包装袋内,可以置换出包装内的氧气,形成低氧环境,从而抑制食品中细菌、霉菌等微生物的生长繁殖,食品变质。
在薄膜沉积过程中,高纯氩气作为载气和保护气,将反应气体输送到反应腔室,并形成稳定的等离子体环境,确保薄膜均匀沉积。同时,氩气还能有效防止晶圆表面氧化,提高薄膜质量。
在刻蚀工艺中,高纯氩气则用于产生高能离子,对晶圆表面进行刻蚀,形成所需的电路图案。氩气的化学惰性使其与晶圆材料发生反应,保证了刻蚀的精度和一致性。
高纯氩气处置储存:
氩气可在**-184℃的温度下以液态形式储存和运送,但焊接用氩气大多装于钢瓶中使用。
氩气瓶是一种钢制圆柱形高压容器,其外表面涂成灰色并注有绿色“氩”字标志字样。
氩气瓶在使用中严禁敲击、碰撞、瓶阀冻结时,不得用火烘烤;不得用电磁起重搬运机搬运氩气瓶;夏季要防日光暴晒;瓶内气体不能用尽,返厂氩气瓶气余压力应不小于0.2MPa;氩气瓶一般直立放置。
常州泳鑫气体有限公司是一家致力于为客户提供气体产品务的领企业。我们专注于剂、高纯气体以及稀有和特种气体的研发、生产、销售和配送,产品广泛应用于、电子、科研、化工、食品等多个领域。我们的产品包括:剂: ,广泛应用于器械、包装等领域的。高纯气体: 包括氩气 (Ar)、氮气 (N2)、氪气 (Kr)、氙气 (Xe)、氖气 (Ne)、气 (D2)、 (N2O)、氦气 (He)、 (H2)、氧气 (O2) 等,纯度高达 99.9 以上,满足半导体、光纤、液晶面板等制造行业对气体纯度的严苛要求。稀有和特种气体: 我们提供稀有气体和特种气体,满足客户的个性化需求。我们始终坚持以客户为,以质量求生存,以求发展,致力于为客户提供的产品务,与客户携手共创美好未来!