铬合金具有高强度和抗腐蚀性,与铁和镍组成的合金俗称不锈钢镍铬合金薄膜的3种制备方法:真空蒸发沉积、磁控溅射沉积和离子束沉积;讨论了基底、工作气压、沉积时间等薄膜制备工艺参数以及退火工艺对薄膜性能的影响。镍铬合金在真空镀膜行业也应用较广,可以做成一定比例的合金靶材,作磁控溅射镀膜的原材料Ni-Cr系合金靶材在溅射镀膜工业中应用广泛,结合材料计算模拟和少量关键实验,定量化地研究了M-Cr系合金材料在热处理过程的相结构、相转变和显微组织特征,以及离子束溅射中入射离子与Ni-Cr系合金靶材固体之间的相互作用
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