氮化钛属于间隙化合物,具有美丽的金光泽,化学稳定性好,熔点高达3000℃,维氏显微硬度为20GPa左右。氮化钛以面心立方的-TiN和体心四方的Ti2N两种相存在Ti2N的Ti/N比变化范围很窄,而的N/Ti比的变化范围则很宽。由于氮化钛膜的硬度高、红硬性好,并兼有良好的韧性,耐磨性好,能成倍提高硬质合金的寿命,使硬质合金涂筱率很快达到70%以上TiN在真空中加热失去氮,生成氮含量较低的氮化钛此外,氮化钛膜还可用作耐腐蚀镀层、微电子器件的扩散障碍层、光学反射层等
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