70年代末,人们用离子镀制成氮化钛膜,沉积温度**550摄氏度,可镀在高速钢上,使高速钢的涂覆率达到50%以上60年代末,人们以TiCl4为原料,用化学气相沉积在硬质合金基体上制备出氮化钛膜,其反应温度在900-1100摄氏度TiN在真空中加热失去氮,生成氮含量较低的氮化钛氮化钛属于间隙化合物,具有美丽的金光泽,化学稳定性好,熔点高达3000℃,维氏显微硬度为20GPa左右。氮化钛以面心立方的-TiN和体心四方的Ti2N两种相存在Ti2N的Ti/N比变化范围很窄,而的N/Ti比的变化范围则很宽。
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