当N/Ti偏离1时,TiN中存在原子空位。这两种相的颜色和硬度相近。使用的氮化钛镀层,其中常常TiN和Ti2N两相共存,其组成比可以通过工艺调节 。氮化钛靶材---氮化钛膜是指由钛氮化合物组成的薄膜。氮化钛属于间隙化合物,具有美丽的金光泽,化学稳定性好,熔点高达3000℃,维氏显微硬度为20GPa左右。60年代末,人们以TiCl4为原料,用化学气相沉积在硬质合金基体上制备出氮化钛膜,其反应温度在900-1100摄氏度有二氮化二钛(Ti2N2)和四氮化三钛(Ti3N4)两种。二氮化二钛为固体。溶于煮沸的王水。遇到热的**溶液则有氨放出。四氮化三钛的性质与二氮化二钛相似。
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