镍铬合金靶材广泛用途镍铬合金靶材耐腐蚀,价格低廉,是我国做的多的烤瓷牙内冠。镍镉合金,主要由镍、铬及其他少量对人体无害的金属元素组成,镍铬合金靶材对人体的不良影响主要是其中的镍引起的。镍铬靶材目前比例主要有镍铬80:20 镍铬50:50 镍铬 60:40等 这三种比例常用镍铬合金薄膜的3种制备方法:真空蒸发沉积、磁控溅射沉积和离子束沉积;讨论了基底、工作气压、沉积时间等薄膜制备工艺参数以及退火工艺对薄膜性能的影响。在长度,横截面积一定时,温度越低,镍铬合金的电阻越大,这与一般的规律是相反的当Ni元素的原子含量在20%70%时,均匀化热处理在1200-1300℃之间比较适宜,而均匀化退火时间随退火温度的选取高低而不同,在2~24h的范围内变动。基于随机级联碰撞理论和蒙特卡洛方法,对离子束溅射中入射离子与M-Cr系合金靶材固体之间的相互作用进行模拟的结果表明,由于Ni和Cr的原子表面能较为接近,M-Cr系合金靶材的溅射产物成分与靶材成分不发生明显偏差,有利于靶材成分的选择和薄膜成分的控制
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