氮化钛靶材---氮化钛膜是指由钛氮化合物组成的薄膜。氮化钛属于间隙化合物,具有美丽的金光泽,化学稳定性好,熔点高达3000℃,维氏显微硬度为20GPa左右。TiN有着诱人的金、熔点高、硬度大、化学稳定性好、与金属的润湿小的结构材料、并具有较高的导电性和**导性,可应用于高温结构材料和**导材料由于氮化钛膜的硬度高、红硬性好,并兼有良好的韧性,耐磨性好,能成倍提高硬质合金的寿命,使硬质合金涂筱率很快达到70%以上当N/Ti偏离1时,TiN中存在原子空位。这两种相的颜色和硬度相近。使用的氮化钛镀层,其中常常TiN和Ti2N两相共存,其组成比可以通过工艺调节 。
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