Ni-Cr系合金靶材在溅射镀膜工业中应用广泛,结合材料计算模拟和少量关键实验,定量化地研究了M-Cr系合金材料在热处理过程的相结构、相转变和显微组织特征,以及离子束溅射中入射离子与Ni-Cr系合金靶材固体之间的相互作用铬合金具有高强度和抗腐蚀性,与铁和镍组成的合金俗称不锈钢在长度,横截面积一定时,温度越低,镍铬合金的电阻越大,这与一般的规律是相反的当Ni元素的原子含量在20%70%时,均匀化热处理在1200-1300℃之间比较适宜,而均匀化退火时间随退火温度的选取高低而不同,在2~24h的范围内变动。基于随机级联碰撞理论和蒙特卡洛方法,对离子束溅射中入射离子与M-Cr系合金靶材固体之间的相互作用进行模拟的结果表明,由于Ni和Cr的原子表面能较为接近,M-Cr系合金靶材的溅射产物成分与靶材成分不发生明显偏差,有利于靶材成分的选择和薄膜成分的控制
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