高纯氩,纯度高达99.99的稀有气体,在半导体制造中扮演着的角色。在晶圆制造的刻蚀环节,高纯氩作为保护气体,能有效防止晶圆表面氧化,确保电路图案的转移。此外,高纯氩还用于清洗和吹扫,去除杂质,提升芯片良率。随着半导体工艺不断精进,对高纯氩纯度的要求也日益严苛,其重要性不言而喻。
在钨惰性气体保护焊(TIG焊)和金属惰性气体保护焊(MIG焊)中,高纯氩气作为保护气体,覆盖在熔池和电弧周围,形成一层稳定的气体保护层,防止焊缝金属与空气接触。
使用高纯氩气进行焊接,可以获得光滑、致密、无氧化的焊缝,提高焊接接头的强度、韧性和耐腐蚀性。因此,高纯氩气广泛应用于、船舶制造、压力容器等对焊接质量要求高的领域。
在食品工业中,高纯氩气作为一种新型的食品保鲜剂,正逐渐成为“秘密”。氩气是一种无色、无味、的气体,化学性质稳定,能够有效抑制食品的氧化和微生物生长,延长食品的保鲜期。
在食品包装过程中,将高纯氩气充入包装袋内,可以置换出包装内的氧气,形成低氧环境,从而抑制食品中细菌、霉菌等微生物的生长繁殖,食品变质。
在薄膜沉积过程中,高纯氩气作为载气和保护气,将反应气体输送到反应腔室,并形成稳定的等离子体环境,确保薄膜均匀沉积。同时,氩气还能有效防止晶圆表面氧化,提高薄膜质量。
在刻蚀工艺中,高纯氩气则用于产生高能离子,对晶圆表面进行刻蚀,形成所需的电路图案。氩气的化学惰性使其与晶圆材料发生反应,保证了刻蚀的精度和一致性。
高纯氩气的纯度直接影响光纤预制棒的质量。如果氩气中含有杂质,会导致光纤预制棒出现气泡、杂质等缺陷,降低光纤的传输性能。因此,光纤预制棒制造过程中对高纯氩气的纯度要求高,通常需要达到99.99以上。
高纯氩气处置储存:
氩气可在**-184℃的温度下以液态形式储存和运送,但焊接用氩气大多装于钢瓶中使用。
氩气瓶是一种钢制圆柱形高压容器,其外表面涂成灰色并注有绿色“氩”字标志字样。
氩气瓶在使用中严禁敲击、碰撞、瓶阀冻结时,不得用火烘烤;不得用电磁起重搬运机搬运氩气瓶;夏季要防日光暴晒;瓶内气体不能用尽,返厂氩气瓶气余压力应不小于0.2MPa;氩气瓶一般直立放置。
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