高纯氩,纯度高达99.99的稀有气体,在半导体制造中扮演着的角色。在晶圆制造的刻蚀环节,高纯氩作为保护气体,能有效防止晶圆表面氧化,确保电路图案的转移。此外,高纯氩还用于清洗和吹扫,去除杂质,提升芯片良率。随着半导体工艺不断精进,对高纯氩纯度的要求也日益严苛,其重要性不言而喻。
它的性质十分不活泼,既不能燃烧,也不助燃。在飞机制造、造船、原子能工业和机械工业部门,对金属,例如铝、、铜及其合金和不锈钢在焊接时,往往用氩作为焊接保护气,防止焊接件被空气氧化或氮化。用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中化学气相沉积、晶体生产、热氧化、外延、扩散、多晶硅、邬化、离子注入、载流、烧结等,用作平衡气、标准气、零点气等。
高纯氩气的纯度直接影响光纤预制棒的质量。如果氩气中含有杂质,会导致光纤预制棒出现气泡、杂质等缺陷,降低光纤的传输性能。因此,光纤预制棒制造过程中对高纯氩气的纯度要求高,通常需要达到99.99以上。
高纯氩气在科学研究领域也发挥着重要作用,是科学家们的“好帮手”。由于其化学惰性和高纯度,高纯氩气被广泛应用于科学实验和分析仪器中。
在物理实验中,高纯氩气常用于填充电离室、闪烁计数器等探测器,用于探测粒子。在化学实验中,高纯氩气作为保护气,用于防止样品氧化、变质,保证实验结果的准确性。
在分析仪器中,高纯氩气作为载气,用于气相色谱仪、质谱仪等仪器,将样品输送到检测器进行分析。高纯氩气的纯度直接影响分析结果的准确性和可靠性。
在钨惰性气体保护焊(TIG焊)和金属惰性气体保护焊(MIG焊)中,高纯氩气作为保护气体,覆盖在熔池和电弧周围,形成一层稳定的气体保护层,防止焊缝金属与空气接触。
使用高纯氩气进行焊接,可以获得光滑、致密、无氧化的焊缝,提高焊接接头的强度、韧性和耐腐蚀性。因此,高纯氩气广泛应用于、船舶制造、压力容器等对焊接质量要求高的领域。
高纯氩气处置储存:
氩气可在**-184℃的温度下以液态形式储存和运送,但焊接用氩气大多装于钢瓶中使用。
氩气瓶是一种钢制圆柱形高压容器,其外表面涂成灰色并注有绿色“氩”字标志字样。
氩气瓶在使用中严禁敲击、碰撞、瓶阀冻结时,不得用火烘烤;不得用电磁起重搬运机搬运氩气瓶;夏季要防日光暴晒;瓶内气体不能用尽,返厂氩气瓶气余压力应不小于0.2MPa;氩气瓶一般直立放置。
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