郑科探小型溅射仪

郑科探小型溅射仪是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压，电流反馈，样品台旋转，样品高度可调节及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率，可对大部分金属进行均匀物理沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜。
小型溅射仪的技术参数：
控制方式	7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
溅射电源	直流溅射电源
镀膜功能	0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率	≤1000W
输出电压电流	电压≤1000V  电流≤1A
真空	机械泵 ≤5Pa（5分钟）   分子泵≤5*10^-3Pa
溅射真空	≤30Pa
挡板类型	电控
真空腔室	石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm
样品台	可旋转φ62  （可安装φ50基底）
样品台转速	8转/分钟
样品溅射源调节距离	40-105mm
真空测量	皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa）
预留真空接口	KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口