湘西真空规

高精度真空计
精准真空测量范围从 0.1 毫乇到 2 巴
INFICON 陶瓷电容式膜片真空计 (CDG)  专为要求较其严格和准确度要求较高 (0.15%)的真空行业设计。防腐蚀**纯氧化铝材料传感器 可确保该真空计优越的性能、长期的稳定性、高准确度和多年免维护。INFICON 提供规格齐全电容式膜片真空计（CDG），从价格便宜的Porter状态真空计到世界上快的测量时间不到1毫秒Stripe电容式膜片真空计（CDG）、200℃过程控制规管压力表或具有优良稳定性的比对真空计校准仪。丰富可选的法兰和通讯接口的大量选用（如以太网接口）使这些仪表成为既简单又实惠的结合。
紧凑而坚固的真空和差压开关进一步丰富了产品的品种。
特点
电子模块与规头合并在一起，简化了系统设计并节省了宝贵的机架空间
范围广泛、符合标准的内部电源供给使用 +12 到 +32 V 的标准直流电，可承受电压波动
标准的模拟输出为 0 到 10 V 直流电，方便连接到计算机或 PLC
高精度和稳定性。精度为 ±0.2 全刻度，稳定性为 0.1% 全刻度
防腐蚀，设计坚固，暴露于真空中的材料是不锈钢 316 L 和哈氏合金 C276
机箱分级为 IP65
压力测量与气体类型完全无关，使这种真空计十分适合于使用氮气以外的气体的应用
出色的高压分辨能力，即使在接近大气压力时也能够分辨 1 mbar 的系统压力变化，使之十分适合于大型的慢抽速系统

B-A规的测量下限由这类型规管的X射线极限决定。X射线极限因不同规管设计而不同。阴极**的电子与栅较及其支撑网碰撞产生X射线。由于BA规的几何结构原因，仅有一小部分**的X射线会被收集较收集。当X射线碰撞收集较丝时，收集较上会有光电子**。X射线电流限制了压力测量范围，使其等效压力下限到10-10或10-11Torr范围，取决于规管型号。早期的规管在栅较外有个柱状收集较，这种规管的X射线极限大约在10-8Torr。当气体非常稀薄且规管所获得的电流输出几乎全部都来源于X射线光电**时，X射线极限就决定了规管小压力测量值。

INFICON反磁控管皮拉尼复合真空计，MPG400 和 MPG401，测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力（3.8 x 10-9 Torr 至大气压力）。将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中，显著降低了安装、设置和集成的复杂性。

Granville-Phillips的275 Mini-Convectron模块提供从大气压到10E-4Torr跨越七个数量级的真空压力测量。有模拟量输出型、R8485输出接口型及Device Net输出接口型(在另外的样器中介绍)可选。基本型带有可调的设审点爆电器允许你控制真空工艺的其他功能或是实现安全互锁。数显型带有明亮的三位数字显示可以实时显示现场压力测量値。带有方便的线性模拟量输出信号的版本也是可选的。
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎*维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试

昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成，注册资金100万，自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。 本公司经过多年不懈的努力，已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络，所经营的产品**国内外，现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系，本公司产品以质量优良、操作简单、*及周到的售后服务等广受市场好，使得公司的效益得到迅速发展，为公司的长远发展打下牢固的基础。 公司主要经营： X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、闽台凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪；并提供优惠的真空泵配件（进口）：油雾分离器（排气过滤器）、叶片、碳精片、油封（轴封）、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫（套）、连轴器、排气阀（片），视油镜、空气总成、风格（空气滤芯）、油过滤器（油格），风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油； 产品广泛适用于：电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。 售后服务：公司拥有专业的维修技术人员及**的检测设备，并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务；服务承诺：凡在本公司所购真空设备，均享有一年免费保修期，并终身提供技术支持。 公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨，不断创新改进，完善售后服务网络。我们以的产品，的质量，的价格，质的服务，愿同各界朋友互相合作，开拓美好的未来。