高精度真空计
精准真空测量范围从 0.1 毫乇到 2 巴
INFICON 陶瓷电容式膜片真空计 (CDG) 专为要求较其严格和准确度要求较高 (0.15%)的真空行业设计。防腐蚀**纯氧化铝材料传感器 可确保该真空计优越的性能、长期的稳定性、高准确度和多年免维护。INFICON 提供规格齐全电容式膜片真空计(CDG),从价格便宜的Porter状态真空计到世界上快的测量时间不到1毫秒Stripe电容式膜片真空计(CDG)、200℃过程控制规管压力表或具有优良稳定性的比对真空计校准仪。丰富可选的法兰和通讯接口的大量选用(如以太网接口)使这些仪表成为既简单又实惠的结合。
紧凑而坚固的真空和差压开关进一步丰富了产品的品种。
B-A规的测量下限由这类型规管的X射线极限决定。X射线极限因不同规管设计而不同。阴极**的电子与栅较及其支撑网碰撞产生X射线。由于BA规的几何结构原因,仅有一小部分**的X射线会被收集较收集。当X射线碰撞收集较丝时,收集较上会有光电子**。X射线电流限制了压力测量范围,使其等效压力下限到10-10或10-11Torr范围,取决于规管型号。早期的规管在栅较外有个柱状收集较,这种规管的X射线极限大约在10-8Torr。当气体非常稀薄且规管所获得的电流输出几乎全部都来源于X射线光电**时,X射线极限就决定了规管小压力测量值。
Edwards WRG宽量空计 系列从大气压到 10-9 mbar 的全量程压力测量,并且提供线性输出。紧凑型的设计,所需空间和连接硬件均减少了一半,这对很多应用来说是非常重要的优势。WRG 具有很多新颖的特点,包括新的放电器、按钮校准、设**控制和全面的诊断功能。WRG 是经济的真空测量解决方案,支持模拟电压输出,nWRG支持RS232和RS485,可以与 Edwards TIC 真空计控制器一起使用也可以直接集成到系统控制中。
Conevctron热损失传感器提供从1X10-4托至大气压力跨越7个数量级的真空压力测量。膜片传感器技术测量真空空间内部和外部环境之间的差压,并在到达所设定的压差值时由设**继电器激活开始工作。
特点
在 10 mbar 以上压力下不受气体类型影响,在大气压力下具有高度的准确性和再现性,能够进行可靠、快速的大气压力检测,可配备钨丝 (PCG550)、镍丝 (PCG552) 或全陶瓷涂层 (PCG554) 传感器装置用于高腐蚀性应用,易于更换的即插即用式传感器与板载校准数据
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境,这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续真空状态,并使之持续维持在一个低位,以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接,以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来,以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外,也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上,实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和**高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
昆山熙日机械设备有限公司是由一批长期服务于某外企的骨干精英组建而成,注册资金100万,自公司成立起一直致力于真空设备及配件的研究、生产、推广、销售、安装及维修领域。 本公司经过多年不懈的努力,已拥有一支专业的IT研发人员和全面的销售网络,所经营的产品**国内外,现已与国内外多家大型企业保持着长期的合作关系,本公司产品以质量优良、操作简单、*及周到的售后服务等广受市场好,使得公司的效益得到迅速发展,为公司的长远发展打下牢固的基础。 公司主要经营: X系列单级旋片泵、进口德国BECKER贝克、德国BUSCH普旭、德国LEYBOLD莱宝、德国RIETSCHLE伟力(里其乐)、英国爱德华、闽台凯威科、日本ORION好利旺、龙挺RVP系列等品牌真空泵及英福康(INFICON)检漏仪;并提供优惠的真空泵配件(进口):油雾分离器(排气过滤器)、叶片、碳精片、油封(轴封)、密封套件、轴套、轴承、连轴器垫(套)、连轴器、排气阀(片),视油镜、空气总成、风格(空气滤芯)、油过滤器(油格),风扇叶、风扇罩、逆止阀、气镇阀、散热器、防震脚及真空泵油; 产品广泛适用于:电光源、真空镀膜、机械、光盘、冶金、石油、化工、造纸、食品、、电子、电力、陶瓷、玻璃、电路板、引水、印染、制糖、制冷设备、工艺吸塑、科研、干燥及汽车维修等单位。 售后服务:公司拥有专业的维修技术人员及**的检测设备,并长期提供真空泵技术指导及修理、维护、保养、检测、咨询等服务;服务承诺:凡在本公司所购真空设备,均享有一年免费保修期,并终身提供技术支持。 公司坚持“以诚为本、信誉至上”为宗旨,不断创新改进,完善售后服务网络。我们以的产品,的质量,的价格,质的服务,愿同各界朋友互相合作,开拓美好的未来。