如果您在半导体行业工作,通常会听到提到“ SEMI安全准则”作为行业的基本要求。
SEMI安全指南是由同名行业协会发布的:SEMI(半导体设备和材料**组织),这是微电子和纳米电子工业制造商的**网络。这些安全指南的制定旨在以合理的价格和稳定的供应来提高产品质量和可靠性。
有许多SEMI标准涵盖不同领域,例如:化学危害,设备跟踪,人机界面,传感器执行器网络;但在其中,SEMI S2是用于环境,健康和安全(EHS)的半导体制造设备中的标准。
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SEMI标准中有材料(M系列)、设备(F系列)、平板显示器(D系列)、跟踪性(T系列)等, 环境、 健康、 安全(EHS)由S系列规定。SEMI认证为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则。SEMI认证适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
相关标准
SEMI E6 —半导体设备安装文档指南
SEMI F5 —气态废水处理指南
SEMI F14 —气源设备外壳设计指南
SEMI F15 —外壳的测试方法(6示踪气体)已移至SEMI S6
SEMI S1 —设备安全标签安全指南
SEMI S3 —工艺液体加热系统的安全准则
SEMI S6 —半导体制造设备排气通风的EHS指南
SEMI S7 —半导体制造设备的环境,安全和健康(ESH)评估安全指南
SEMI S8 —半导体制造设备的人机工程学安全准则
SEMI S10 —风险评估和风险评估过程的安全准则
SEMI S12-设备消毒准则
SEMI S13 —环境,健康和安全指南,提供给设备用户以供与半导体制造设备一起使用的文件
SEMI S14 —半导体制造设备火灾风险评估和缓解的安全准则
SEMI S22 —半导体制造设备的电气设计安全准则
ANSI / IEEE C95.1 —关于人体暴露于3 kHz至300 GHz射频电磁场中的安全等级标准
ANSI / RIA R15.06 —工业机器人和机器人系统–安全要求
ANSI / ISA S84.01 —安全仪表系统在过程工业中的应用
IEC 60825-1 —激光产品的安全性–*1部分:设备分类,要求
IEC 61010-1 —测量,控制和实验室用电气设备的安全要求–*1部分:一般要求
IEC 61508 —电气/电子/可编程电子安全相关系统的功能安全
ISO 10218-1 —工业环境机器人–安全要求–*1部分:机器人
ISO 13849-1 —机械安全–控制系统的安全相关部件–*1部分:设计的一般原则
SEMI(半导体设备与材料的**性组织)是半导体工业的**执行联盟,SEMI之下的安全工作小组为了降低机械危害的风险,制定了一套适用于半导体及显示器材料和制造设备的**性标准和法规,成为半导体业界对设备系统的*的规格要求。 SEMI认证是**半导体产业协会,主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。
S EMI S2和SEMI S2- 0 712a半导体制造设备的环境,健康和安全指南。该标准的先前版本包括SEMI S2-0200,SEMI S2-0302,SEMI S2-1102和SEMI S2-0303,SEMI S2-0703 SEMI S2-93,SEMI S2-93A。
设备类型;SEMI S2适用于所有类型的半导体制造设备。SEMI S2适用于离子植入机,光刻设备,湿式工作台。SEMI S2适用于蚀刻机,掩模对准器,CVD,锯,旋涂机和Fab中的任何其他设备。蚀刻机,植入机,清洁轨道,化学分配系统,散装气体分配,煤气柜,气源柜,计量系统,测试系统,CMP系统,炉,子系统,工业激光器
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